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課程名稱 |
積體電路工程
INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY |
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開課學期 |
98-2 |
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授課對象 |
電機資訊學院 電機工程學研究所 |
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授課教師 |
王維新 |
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課號 |
EE5114 |
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課程識別碼 |
921EU7120 |
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班次 |
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學分 |
3 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期三2,3,4(9:10~12:10) |
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上課地點 |
電二102 |
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備註 |
本課程以英語授課。
總人數上限：40人 |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
本課程尚未建立核心能力關連 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
0. 簡介
1. 長晶與磊晶
2. 擴散
3. 離子佈值
4. 氧化
5. 薄膜沉積
6. 蝕刻與清洗
7. 微影
8. 量測
9. 矽積體電路
10.封裝 |
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課程目標 |
本課程主要討論半導體元件和積體電路等製程之基本原理，主要重點在與積體化相關的製程，但亦涵蓋與一般元件相關的重要製程。 |
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課程要求 |
一、預修課程：普通物理，工程數學(一)，電子學(一)
二、成績評量方式：期中考 40%，期末考 40%，作業 20% |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
教科書: 講義之電子檔將以電子郵件寄送。
參考書目: [1] A. B. Glaser and G. E. Subak-Sharpe, Integrated Circuit Engineering.
[2] S. K. Ghandhi, VLSI Fabrication Principles.
[3] S. M. Sze, VLSI Technology.
[4] S. M. Sze, Semiconductor Devices, Physics, and Technology.
[5] M. Quirk and J. Serda, Semiconductor Manufacturing Technology.
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評量方式
(僅供參考) |
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